制取高纯气体的方法因气体的种类和需求纯度而异，以下是一些常见的制取高纯气体的方法：

　　1.空气分离法

　　主要用于制取高纯氧气、氮气和氩气。

　　-低温精馏法：先将空气压缩、冷却和净化，去除其中的水分、二氧化碳、灰尘等杂质。然后将净化后的空气通过换热器冷却至低温，使其部分液化。接着利用精馏塔，根据不同气体的沸点差异，进行分离和提纯，从而得到高纯度的氧气、氮气和氩气。

　　-吸附法：让空气通过吸附剂（如分子筛），由于不同气体分子在吸附剂上的吸附能力不同，氮气、氧气等会被选择性吸附，未被吸附的气体即为高纯氩气。然后通过改变压力和温度，解吸出被吸附的气体，再进一步精馏提纯得到高纯氧气和氮气。

　　2.化学合成法

　　-例如制取高纯氢气，可以通过水电解的方法，让直流电通过水，在阴极和阳极分别产生氢气和氧气。经过净化、干燥和进一步的提纯步骤，如通过钯膜扩散等方法，去除杂质，得到高纯氢气。

　　-合成氨分解法：首先通过氮气和氢气在高温高压及催化剂的条件下合成氨，然后将氨加热分解得到氮气和氢气，再通过吸附、冷凝等方法去除杂质，得到高纯氮气和氢气。

　　3.物理提纯法

　　-对于一些本身纯度较高但含有少量杂质的气体，如工业级二氧化碳，可以通过物理吸附、低温精馏、膜分离等方法去除杂质，提高纯度。例如，使用活性炭、沸石等吸附剂吸附二氧化碳中的杂质，或者利用二氧化碳与杂质的沸点差异进行精馏分离。

　　4.金属氢化物分解法

　　某些金属与氢反应生成金属氢化物，加热这些金属氢化物时会分解出高纯氢气。例如，氢化锂（LiH）、氢化钙（CaH₂）等加热分解可制取氢气。

　　以制取高纯氮气为例，首先将空气通过过滤器去除灰尘和机械杂质，然后进入压缩机压缩，接着通过冷却器冷却降温，再进入吸附器去除二氧化碳、水分和碳氢化合物等杂质。之后进入精馏塔进行低温精馏分离，在塔顶得到高纯氮气，再经过进一步的吸附、催化等净化步骤，去除残留的微量杂质，得到纯度高达99.999%以上的高纯氮气。

　　又如制取高纯氩气，先通过空气分离装置得到粗氩，再利用加氢除氧、低温吸附等方法去除粗氩中的氧、氮、氢等杂质，最后通过精馏提纯得到高纯氩气。